深圳熒鴻瑕疵檢測燈在半導(dǎo)體wafer晶圓制作過程中在前段、中段和后段都被用于檢測表面瑕疵并判斷其合格情況。黃色和綠色的表面瑕疵檢測燈被選擇的多些,不過白光有時也會被選擇。前段、中段和后段瑕疵檢測如下:
前段 原材料廠wafer晶圓片制作完成后要在出廠前對其表面進(jìn)行瑕疵檢測,沒有瑕疵才能成為合格品進(jìn)行出廠;
中段 廠家購入原材料wafer晶圓片進(jìn)行光刻,光刻前需要對晶圓片進(jìn)行表面瑕疵檢測,確定無瑕疵后進(jìn)行光刻、蝕刻等。光刻、蝕刻后需對wafer晶圓片表面線路進(jìn)行檢查,線路沒有瑕疵才能出廠
后端 wafer晶圓片刻入電路后,對其表面進(jìn)行瑕疵檢測,根據(jù)表面瑕疵情況(檢查電路外的情況),對其進(jìn)行切割。
深圳熒鴻用于半導(dǎo)體的表面瑕疵檢測燈不含有紫外光和藍(lán)光,對晶圓制作無影響。我們的表面瑕疵燈有手持式和桌面式,在一定的條件下,光照度相比其他表面檢查燈高出20%,是專業(yè)的半導(dǎo)體瑕疵檢測燈,可精確檢測1um的瑕疵。更多關(guān)于半導(dǎo)體表面瑕疵檢測燈,請咨詢:0755-89233889或18923477268(同微信)。
