晶圓瑕疵檢測有人工采用晶圓瑕疵檢測燈目視檢測也有自動化視覺檢測,兩種檢測各有什么區(qū)別?那種好?讓專注于晶圓瑕疵檢測燈的深圳熒鴻為你簡單介紹,更多詳情咨詢0755-89233889!
Q1:晶圓瑕疵檢測采用人工目檢還是自動化檢測好?
A:半導體晶圓瑕疵檢測人工目檢和自動化視覺檢測各有各的好處,成本上自動化視覺檢測設備昂貴,但是可大批量檢測,速度快,但用晶圓瑕疵檢測燈進行人工目檢可檢測機器視覺檢測不出的瑕疵,如隱形的裂紋,水印等高要求瑕疵檢測。
Q2:專業(yè)的晶圓瑕疵檢測燈和自動化視覺檢測的光源是一樣的嗎?
A:專業(yè)的半導體瑕疵檢測燈和自動化視覺檢測的光源不一樣,主要表現(xiàn)為側重點不一樣。專業(yè)的工業(yè)檢測燈一般用于人工目檢,可檢測自動化視覺檢測不出的瑕疵,因此采用的是光亮度高精度的光源(像我們深圳熒鴻晶圓瑕疵檢測燈SL9300,雖小巧但亮度有16.9萬LX,可定制更高的),而自動化視覺檢測的光源主要是利用相機放大光源檢測的瑕疵,對光源的要求不高。
Q3:大多數(shù)的晶圓廠家檢測瑕疵用的自動化視覺檢測?
A:這個不一定,因為晶圓瑕疵檢測有好幾個流程,有的適合人工目檢有的適合自動化視覺檢測。如前端的制程(原材料等)大部分使用人工目視檢測,到了中端和后段使用人工目檢就比較少一些,因為自動化檢測都是綜合性的檢測設備,除了檢測瑕疵還可測試外觀等,不過在此階段也會使用專用的晶圓瑕疵檢測燈用于人工目視抽檢。