半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中缺陷控制是半導(dǎo)體材料和器件提升的關(guān)鍵所在，了解了半導(dǎo)體外延片缺陷才能更好的控制。深圳熒鴻半導(dǎo)體瑕疵檢測(cè)燈SL8500可檢測(cè)多種缺陷瑕疵，詳情咨詢0755-89233889。以下為您整理半導(dǎo)體外延片常見缺陷如下（內(nèi)容來自網(wǎng)絡(luò)，侵權(quán)聯(lián)系刪）：

半導(dǎo)體外延片致命可見缺陷
三角形缺陷； 2）顆粒；3）掉落物；4）胡蘿卜；5）強(qiáng)地形缺陷

非致命可見缺陷
鈍角三角形；2）劃痕；3）凹坑；4）V型缺陷；5）粗糙度；6）臺(tái)階聚集；7）小地形缺陷

非致命晶體缺陷
1）錯(cuò)層；2）基面位錯(cuò)；3）棒層錯(cuò)；4）晶界