使用深圳熒鴻工業(yè)表面瑕疵檢測(cè)燈檢測(cè)半導(dǎo)體襯底表面瑕疵視頻講解如下,更多關(guān)于半導(dǎo)體瑕疵檢測(cè)可咨詢0755-8923889。
檢測(cè)半導(dǎo)體襯底表面瑕疵前先對(duì)表面瑕疵檢測(cè)燈進(jìn)行設(shè)置,瑕疵檢測(cè)燈燈頭高度與檢測(cè)臺(tái)之間距離為30-40cm,角度為垂直90度,放置黑色背景板于檢測(cè)臺(tái)上,打開(kāi)瑕疵檢測(cè)燈并將亮度調(diào)到最大。采用懸空測(cè)試法,手拿半導(dǎo)體襯底放置于檢測(cè)燈與黑色背景板之間,半導(dǎo)體襯底與背景板之間的距離為15-20cm之間,半導(dǎo)體襯底與水平方向保持30-60度夾角。檢測(cè)瑕疵時(shí),檢測(cè)員需要慢慢調(diào)整襯底與水平角度以尋找最佳的瑕疵點(diǎn)。