視頻中為深圳熒鴻最新開發(fā)的半導(dǎo)體半自動瑕疵檢測設(shè)備，整套設(shè)備由三軸系統(tǒng)、三軸控制器和半導(dǎo)體瑕疵檢測燈（視頻中為SL8500）三部分組成。更多關(guān)于半導(dǎo)體瑕疵檢測可咨詢深圳熒鴻0755-89233889！
三軸控制器可調(diào)節(jié)XYZ軸以適應(yīng)不同尺寸和大小的半導(dǎo)體材料，視頻中以透明的掩模板為例進(jìn)行講解。首先我們安裝好半導(dǎo)體材料，然后調(diào)節(jié)瑕疵檢測燈SL8500的位置，讓燈頭與半導(dǎo)體材料樣板垂直并保持30cm的距離。檢測開始，我們先打開三軸控制臺以及瑕疵檢測燈SL8500，初次檢測需要將三軸系統(tǒng)回到初始狀態(tài)，然后開始檢測。檢測開始后，三軸系統(tǒng)自動移動位置使得半導(dǎo)體材料每個(gè)部位都能夠被檢測到，遇到比較復(fù)雜的瑕疵可暫停進(jìn)行觀察。