半導體半自動化瑕疵檢測設備簡介

深圳熒鴻半導體半自動化瑕疵檢測設備由三軸自動調(diào)節(jié)設備SLT600(三軸手動/電動旋轉(zhuǎn)臺+控制器)、瑕疵檢測燈（一般配SL8500-GY）組成。SLT600半導體旋轉(zhuǎn)臺采用電動控制，響應速度快，控制精度高可實現(xiàn)復雜運動控制和高效能量轉(zhuǎn)換；具備高穩(wěn)定性和重復性，可檢測um級別瑕疵，被各半導體廠商廣泛應用。

半導體半自動化瑕疵檢測設備檢測原理
半導體瑕疵檢測燈SL8500利用適合的LED燈源，通過光學鏡片折射出特殊波長的光源，照在工件表面折射出光路，使得操作員肉眼可識別出工件表面的灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵點。三軸旋轉(zhuǎn)臺通過控制器進行移動，可全面檢測不同位置的瑕疵，解放雙手。

半導體半自動化瑕疵檢測設備檢測步驟
將待檢測的半導體材料安裝在三軸控制臺上，瑕疵檢測燈安置于材料前?？刂婆_有XYZ三軸，通過控制器可對材料進行上下左右移動，可讓材料全方位經(jīng)過瑕疵檢測燈的照射，人眼從而發(fā)現(xiàn)半導體材料表面瑕疵。

SLT6000三軸手動、電動旋轉(zhuǎn)臺參數(shù)
型號：SLT600旋轉(zhuǎn)臺
1.X/Y軸電動行程：500（±250）mm? ? ?Z軸電動行程：250mm D
2.X/Y手動行程：±75mm ；? 旋轉(zhuǎn)手調(diào)：±120°? ? 傾斜手調(diào)：±90°； 夾緊手調(diào)：100mm
3.旋轉(zhuǎn)臺尺寸：78*78CM，重量38KG? ? ? ? ? ? ? ?控制臺：38*25*16cm?? 8KG

SLT600手動、電動旋轉(zhuǎn)臺的特點：
1.旋轉(zhuǎn)臺由通常由鋁合金等材質(zhì)制成，采用精密加工的導軌和傳動部件
2.結構設計緊湊，操作方便，適用于空間有限的環(huán)境。通過手動調(diào)節(jié)實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)，重復性和精度較高
3.應用：常用于科研、實驗室等對精度和穩(wěn)定性要求較高的場合，如光學實驗、精密儀器搭建等