深圳熒鴻從2006到現(xiàn)在一直致力于為客戶研發(fā)更適合的表面瑕疵檢查燈，最近根據(jù)晶圓晶片客戶要求開發(fā)新款應用于半導體晶圓晶片表面瑕疵檢查燈SL8804-GYS和SL8904-H，均由4顆LED制作，可檢查出半導體晶圓表面1um瑕疵，瑕疵包含冗余物（如微小顆粒、灰塵、晶圓加工前一個工序的殘留物）和機械損傷。

SL8804-GYSL采用人眼最敏感510-590NM之間波長光，為桌面式檢查燈，可精確檢查到1um以下的刮痕或微粒子，并且具有綠光和黃光2種顏色的復合光，幾乎可檢測出所有塵埃，大大降低晶圓晶片不良率。使用壽命為2萬小時以上。光源強度可達90000LX，最小可以檢測1μ的表面臟污，比傳統(tǒng)的檢查燈，效用增強10倍。

SL8904-H是一款便攜手持式wafer晶片晶圓表面瑕疵檢查燈，高強度紫外線，符合ASTM E 3022等各種國際標準，配有三腳架，可解放雙手方便各種測試; 高強度紫外線可細微檢測出晶圓表面各種瑕疵，紫外燈的光束輪廓非常均勻，沒有任何足跡顯示LED的陰影，黑點或其他干擾缺陷。

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